气体质量流量传感器校准系统
2017/6/2
a)产品概述
质量流量传感器校准系统适用于生产线上的终检校准，通过对小量程质量流量传感器的通讯功能测试及不同温度下的校准，确保产品精度及质量。校准流程及算法可由用户自定义配置，丰富的登录模式及权限级别设定，自动生成测试日志等，确保操作灵活且便于扩展。
c)系统功能
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主要功能 |
描 述 |
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用户管理 |
管理用户登录及操作权限，按权限高低分为管理员、工程师、技术员▨、线长和操作员，管理员具有最高权限，可以添加、删除和修改用户信息； |
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工单操作 |
用于创建不同温度下的工单任务，只ღ有当前存♌在的工单被终止或完成时，才能创建下一个工单； |
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参数配置 |
用于工程师对校准或测试参数进行配置； |
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模式选择 |
提供生产模式、工程师模式以及校验模式共三种工作模式； |
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错误日志浏览 |
为用户提供按时间查询的错误日志浏览； |
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数据存储 |
自动存储测试过程数据。 |
d)特性详解
兼容多种信号输出类型的传感器——
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信号类型 |
输出方式 |
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模拟量 |
电压信号 |
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数字量 |
IIC通讯信号 |
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SPI通讯信号 |
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PWM脉冲信号 |
温度可控范围宽，稳定性优异——可实现-20℃~100℃范围内不同温度点的精确控制，温度控制精度为 1℃，目标温度下的温度波动度为 0.2℃；
良好的气路密封性𒉰——采用钢质气管，采用少接头设计，确🅠保系统密封性。图示是使用同一传感器夹具进行5次（用不同颜色的曲线代表）泄漏测试时的泄漏率。（单位为sccm/s，测试压力为2.5psi，保压时间 20s，每个传感器夹具包含4条气路）
高测试校准精度——气体流量控制精度达 1sccm，温度控制精度 1℃。
高测试效率——系统可同时对32个被测件进行操作，8路总线并行的设计方法和温度的快速稳定为Cycle Time节约了大量时间，达到160 DUTs/h，满足生产线节拍的要求。
测试校准稳定可靠——GRR实验数据良好。图示为校准200sccm量程ꦓ的传感器时不同流量点下（50/100/160/200sccm）的GRR数据，均<10%。
便于维护——设计了专门的探针模块用于从传感获信号点获取信号，损坏时更该模块即可；气路装拆方便；继电器状态通过指示灯显示，指示直观。
完善的安全机制——智能流程判断；提供急停等安全操作机制，在系统出现突发状况时对人及设备形成保护。
e)运行环境及系统指标
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项目 |
描述 |
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系统指标 |
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流量范围 |
0~1000sccm/0~200sccm可选 |
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节拍 |
160件/小时，32件并行测试 |
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物理尺寸 |
温控箱外形尺寸：2300 1430 1960mm |
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热流机外形尺寸： 610 991 1303mm(Max.) |
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运行环境 |
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运行环境 |
温度：0~50℃；湿度：35%~80%； |
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供电要求 |
AC 220V，50Hz |
校准平台、热流机供电 |
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AC 380V，50Hz |
温控箱供电 |
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供气要求 |
2.0bar |
校准供气，干燥、纯净的氮气 |
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5.0bar |
气缸供气，干燥的压缩空气 |
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90~100psi |
热流机供气，干燥的压缩空气 |
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